國產劃片機 2022-01-16
國產劃片機納米科學技術特點中的半導體封測設備業務包括劃片機、切割周邊設備、切割耗材、核心零部件空氣主軸等產品,主要應用于半導體封測環節的切割研磨工序;安全生產監控裝備業務包括礦山安全生產監控類、電力安全節能環保類和專用配套設備等三大類產品,主要應用于煤礦、電力等工業生產領域。
晶圓切割主要分為刀片切割和激光切割兩大工藝,分別對應砂輪劃片機和激光劃片機兩類劃片設備。刀片切割包括一次切割和分步連續切割的方式,效率高,成本低,壽命長,是使用最廣泛的切割工藝,尤其在較厚晶圓(>100 微米)具備優勢。
激光切割工藝切割精度高、切割速度快,但是主要適用于較薄晶圓(<100 微米)的切割,在切割較厚晶圓時存在高溫損壞晶圓的問題,仍需要刀片切割進行二次切割配合,同時激光頭價格較為昂貴,壽命較短。
國產廠商在高端精密切割劃片領域與國外廠商仍有較大差距,同時品牌知名度尚缺,缺乏市場競爭能力,在全球市場中所占份額極低。
劃片機目前主要分為兩種方式,分別是砂輪劃片機和激光劃片機,但由于激光切割不能使用大功率以免產生熱影響區,破壞芯片以及造價高昂(一般在100 萬美元/臺以上),工序上需要二次切割,因此形成砂輪劃片機占據80%的市場份額,激光劃片機作為劃片機補充,占據20%。
最大工作物尺寸 | mm | ? 6"或160mm×160mm方形 | |
X軸 | 工作臺左右行程 | mm | 240 |
進刀速度輸入范圍 | mm/s | 0.1 - 400 | |
Y軸 | 可切削范圍 | mm | 165 |
單步步進量 | mm | 0.0001 | |
定位精度 | mm | 0.005以內/165 0.003以內/5 (單一誤差) | |
Z軸 | 有效行程 | mm | 30 |
重復精度 | mm | 0.001 | |
可使用的最大切割刀片直徑 | mm | ? 58 | |
θ軸 | 最大旋轉角度 | deg | 320 |
轉角分辨率 | ″ | 0.0002° | |
主軸 | 額定輸出功率 | kW | 1.5(1.8、2.4可選) at 50,000 min-1 |
額定扭矩 | N?m | 0.27 | |
旋轉數范圍 | min-1 | 3,000 - 50,000 (60,000*) | |
可使用的最大框架 | 6寸 | ||
基礎規格 | 電源 | V | 單相AC220V ±10%上述以外需配置變壓器 |
耗電量 | kw | 加工時 kW 0.5(參考值) 暖機時 kW 0.3(參考值) | |
最大耗電量 | kVA | 3.2 | |
壓縮空氣供給壓力 | Mpa | 0.5 - 0.8 | |
壓縮空氣最大消耗量 | L/min(ANR) | 185 | |
切削水壓力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | |
最大消耗量 | L/min | 4.0 | |
冷卻水壓力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | |
最大消耗量 | L/min | 1.5(在0.3MPa時) | |
排風量 | m3/min | 1.5 | |
設備尺寸(W × D × H) | mm | 680 × 900 × 1660 | |
設備重量 | kg | 約500 |
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